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激光退火设备
激光退火设备


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设备名称:激光退火设备

设备型号:SWA

产地国:日本

生产公司:SUMITOMO

购置时间:2017-08

性能指标:高于 1000°C的晶圆深度≧2um;退火后片内激活杂质浓度的非均匀性 ≦1%偏差

用途:退火

服务热线:010—69751170
电子邮箱:kechuangfuwu@wlkjc.com
联系地址:北京市昌平区未来科学城未来中心B座3层
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