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市政公告
设备名称:激光退火设备
设备型号:SWA
产地国:日本
生产公司:SUMITOMO
购置时间:2017-08
性能指标:高于 1000°C的晶圆深度≧2um;退火后片内激活杂质浓度的非均匀性 ≦1%偏差
用途:退火