设备名称：等离子刻蚀设备

设备型号：LAMRAINBOW4420

产地国：中国

生产公司：无锡乔达电子科技有限公司

购置时间：2017-08

性能指标：射频电源，功率1000W，13.56MHz

用途：用于氧化膜、金属、钝化层、碳化硅刻蚀