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市政公告
设备名称:高温离子注入机
设备型号:IMP
产地国:日本
生产公司:NISSIN
购置时间:2017-10
性能指标:可注入元素:碳、氧、磷、硼、氩、铝,氮;单价能量320Kev;托盘温度RT~500℃内连续可调
用途:离子注入