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市政公告
设备名称:高能氢离子注入机
设备型号:1500
产地国:美国
生产公司:Applied Materials
购置时间:2017-07
性能指标:离子注入能量范围要求:氢200kev~1.5Mev,氦400kev~2.25Mev
用途:离子注入